固体浸没透镜

2023-03-20 12:29

固体浸没透镜

固体浸没透镜（SIL）是一种通过向样品中填充高折射率介质来实现比普通透镜更高的放大倍率和更高的数值孔径的透镜。SIL最初是为了提高光学显微镜的空间分辨率而开发的。

固体浸没透镜

SIL的应用

固体浸没显微镜

由于光的波特性，所有光学显微镜均受衍射限制。通过使用SIL，可以使空间分辨率高于空气中的衍射极限。这用于远场成像和近场成像。

在近场成像中，当透镜的折射率太高而无法引起全反射时，此分量可以用作e逝波。　

光学记录媒体

由于通过SIL的高空间分辨率，可以使激光束的光斑尺寸小于空气中的衍射极限，因此可以提高光学记录介质的信息密度。

光刻

像浸没式光刻法一样，使用固体浸没效应可以改善光刻图案的空间分辨率。在晶片上形成半导体微元件时使用。

固体浸没透镜

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