微机电系统

MEMS微机电系统是机械部件、传感器、致动器、电子电路中的一个硅衬底、玻璃衬底上的有机材料的顶部微细加工技术是指集成由设备。根据工艺限制和材料差异，机械结构和电子电路可以是单独的芯片，但这种混合也称为MEMS。

主要部分由LIGA工艺和半导体集成电路制造技术制成，但也包括牺牲层蚀刻工艺以形成三维形状和可移动结构。

最初，MEMS的研发主要是为了替换诸如传感器之类的现有设备，但是近年来，作为在仅允许MEMS的环境中的实验手段，它已经引起了人们的注意。例如，电子显微镜的内部是高真空且具有微小的空间，但是如果是MEMS，则可以使用小尺寸和机械性能来进行电子显微镜下的实验。它也用作处理，捕获和分析纳米和微米材料（例如DNA和生物样品）的工具。

当前，可商购的产品用于喷墨打印机头、压力传感器、加速度传感器、陀螺仪、投影仪和照片打印机中使用的DMD、光学3D打印机、激光投影仪等。有检流计等，应用范围正在逐渐扩大。

随着市场规模的扩大和应用领域的多样化，人们对它的期望很高，因此被称为第二DRAM。