什么是压电响应力显微镜

压电响应力显微镜（简称：PFM）是扫描探针显微镜之一。

压电响应力显微镜是一种扫描探针显微镜，用于获取有关样品表面形状和铁电样品极化方向的信息。

接触模式原子力显微镜在铁电检测的样品的压电特性的响应的表面振动。通过向铁电样品施加交流电压，在表面上会产生与交流频率相同频率的微小振动，作为对铁电体压电特性的响应，因此，该振动被测量为AFM 悬臂梁挠度的变化。作为施加电压的方法，有使用设置在样品表面上的上电极的方法和使用导电悬臂的方法。使用锁定放大器，与施加的AC电压的相位同步地检测来自悬臂振动的信号，并从相位信息获得有关铁电样品极化方向的信息。