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电子透镜
电子透镜是利用电磁场的作用会聚电子束或离子束的透镜。用于电子显微镜。
有利用电场使电子束会聚的静电透镜(电场透镜)和利用磁场会聚电子束的磁透镜(电磁透镜)。
电子透镜仅是用于使电子束会聚的凸透镜的功能,光学透镜不能像凹透镜那样使电子束发散,因此限制像差的选择受到限制。
根据电子光学,旋转对称的电场或磁场对近轴射线具有透镜效应。多极透镜是由没有旋转对称性的电场和磁场产生的一堆圆柱透镜。
电子透镜具有比光学透镜更大的光学像差。此外,由于还添加了基于电磁场的不稳定性的像差,因此有必要减小用于显微镜的电子透镜中的孔径角。
静电透镜
由于静电电子透镜可以承受电源电压的一些波动,因此它用于xxx结束后电源电压不稳定的时代。另一方面,当电源电压变得稳定时,它容易受到电源电压的影响,但是具有优异性能的电磁电子透镜已经成为主流。在电磁电子透镜的情况下,电子束通过增强磁场而会聚,使得电子显微镜所需的特性优于静电电子透镜的特性。
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