扫描热显微镜

扫描热显微镜是扫描探针显微镜之一。

一种扫描探针显微镜（SPM），它增加了温度测量功能，以几十纳米或更小的高空间分辨率来测量样品表面的温度和热物理特性分布。有多种格式，每种都有优点和缺点。

可视化xxx个热量分布的SPM是1986年报道的Scanning Thermal Profiler，它使用靠近样品的加热探针的温度变化来测量绝缘子的形状，并在1989年使用了扫描隧道。展示了一种纳米级的光热转换显微测量方法和光热转换光谱，使用显微镜（STM）来测量金属探针和金属样品表面的电动势。1992年报道了使用接触电势进行热导率的测量，1993年报道了使用微热电偶悬臂对电子设备进行温度分布的测量，而使用沃拉斯顿线进行了温度测量。 1994年报道了使用电阻器（RTD）的测量。