隧道声显微镜

隧道声学显微镜（TAM）是一种扫描探针显微镜。

通过使振动探针靠近试样，由于相互作用，试样表面成为良好的超声波源，通过依次扫描，能够以高分辨率获得与声源有关的表面形状，介电常数和电荷分布的信息。 

一种扫描探针显微镜，其利用压电位移元件进行扫描，使得探针非常靠近样品，并且探针与样品之间的相互作用区域非常有限，并且可以以高灵敏度和高精度检测间隙变化。压电元件固定在样品上，并且当通过Z轴驱动压电元件振动（约70 kHz）的探针靠近时，由相互作用产生的声波传播到样品表面，并且振动固定在样品上。压电元件将其检测为电信号。通过传输探头振动频率的带通滤波器对检测到的电信号进行整流，该信号强度与参考值之间的差信号用于控制Z轴，从而消除了探头和样品之间的间隙。表面保持恒定的扫描以成像表面不规则。

类似地，通过在探针和样品之间施加电压而产生的静电力也会通过探针的振动进行调制，因此可以与锁定放大器同步检测（探针的振动频率）以确定样品的介电常数。这导致成像的分布和电荷的分布。