扫描霍尔元件显微镜

扫描霍尔元件显微镜（SHPM）是扫描探针显微镜之一。

一种扫描探针显微镜，用于可视化样品的表面形状和磁通量分布。

扫描霍尔元件显微镜的结构，低温扫描隧道显微镜大致相同的超导磁体被嵌入液氦用于低温恒温器在所述真空双管包含在，样品霍尔元件，安装了包括压电驱动元件的扫描仪部件。探头装有霍尔元件，通过在与霍尔效应产生的电流正交的方向上测量霍尔电压来测量磁场强度。使用检测到的隧道电流控制霍尔元件探头与样品表面之间的距离，分辨率达到约0.1μm 。