目录
- 1 什么是真空泵
- 2 真空泵的类型
- 3 真空泵的应用
什么是真空泵
真空泵是绘制的装置的气体分子从密封的体积，以留下的部分真空。真空泵的工作是在容量范围内产生相对真空。xxx个真空泵由奥托·冯·居里克（Otto von Guericke）于1650年发明，随后是吸气泵，该泵可追溯到上古。
真空泵的类型
可以根据以下三种技术对泵进行大致分类：
容积泵使用一种机制来反复扩大空腔，允许气体从腔室流入密封空腔，然后将其排放到大气中。动量传递泵也称为分子泵，它使用稠密流体的高速射流或高速旋转的叶片将气体分子敲出腔室。捕集泵捕获固态或吸附态的气体。这包括低温泵、吸气剂和离子泵。
正排量泵对于低真空最有效。动量传递泵与一两个正排量泵结合使用是实现高真空的最常见配置。在这种配置中，容积泵具有两个目的。首先，由于动量传递泵无法在大气压下开始泵送，因此在动量传递泵可用于获得高真空之前，先在要抽空的容器中获得大致真空。其次，正排量泵通过将高真空泵中被置换的分子的积聚排空至低真空来备份动量传递泵。可以添加捕集泵以达到超高真空度，但它们需要定期再生捕集空气分子或离子的表面。由于这一要求，它们在低真空和高真空下的可用操作时间可能会短得令人无法接受，从而将它们的使用限制在超高真空下。泵在细节上也有所不同，例如制造公差、密封材料、压力、流量、是否允许吸入油蒸汽、维修间隔、可靠性、对灰尘的耐受性、对化学药品的耐受性、对液体和振动的耐受性。
真空泵的应用
真空泵用于许多工业和科学过程中，包括复合塑料成型过程，大多数类型的电灯，真空管和CRT的生产，在该过程中，该设备可以抽真空或重新填充特定的气体或混合气体、半导体加工尤其是离子注入，干法蚀刻和PVD、ALD、PECVD和CVD沉积等在光刻、电子显微镜，需要抽吸的医学过程，铀浓缩，医学应用（例如放射治疗、放射外科和放射药学）中，分析仪器，用于分析气体、液体、固体、表面和生物材料；质谱仪可在离子源和检测器之间产生高真空；玻璃、金属和塑料上的真空涂层可用于装饰、耐用性和节能等。用作低辐射玻璃，发动机部件的硬涂层（如一级方程式）、眼罩、挤奶机和奶牛棚中的其他设备，对木材或电动机绕组等多孔产品进行真空浸渍、空调服务（清除所有污染物）从系统中注入制冷剂、垃圾压实机、真空工程、污水处理系统、冷冻干燥和融合研究。在油再生和精炼领域，真空泵为油脱水创造了低真空，为油净化创造了高真空。特别是在变压器维护领域，真空泵在变压器油净化设备中起着至关重要的作用，这些设备被用来延长变压器在该领域的使用寿命。
真空可用于为机械设备提供动力或提供帮助。在混合动力和柴油发动机机动车辆中，发动机上安装的泵（通常在凸轮轴上）用于产生真空。相反，在汽油发动机中，真空通常是作为发动机运行的副作用和由节气门板产生的流量限制而获得的，但也可以通过电动真空泵来补充，以增强制动辅助或改善燃料消费。然后可以使用此真空为以下汽车部件提供动力：液压制动器的真空伺服助力器，即移动电机阻尼器的通风系统、油门在驱动巡航控制伺服系统、门锁或后备箱释放。
在飞机上，真空源通常用于为各种飞行仪器中的陀螺仪供电。为了防止在发生电力故障时完全丢失仪器，仪表板刻意设计了某些由电驱动的仪器和其他由真空源供电的仪器。
根据应用的不同，某些真空泵可以是电动的（使用电流）或气动的（使用气压），也可以通过其他方式提供动力和驱动。
